image о компании | image контакты | image реквизиты | image каталоги | image новинки | image продукция | image металлообработка |
image image
  поиск  
image
image image index page
Производственно-коммерческая группа «Гранат»
представляет Вашему вниманию широкий спектр
контрольно-измерительных приборов,
лабораторного оборудования и сопутствующей продукции
  
image
image
image
image image Контроль условий труда и аттестация рабочих мест
image image
image image Контроль воздуха рабочей зоны
image image
image image Гидрометеорология и экология
image image
image image Газоанализаторы промышленные
image image
image image Лабораторное оборудование и приборы
image image
image image Промышленные измерительные приборы общего назначения
image image
image image Специализированные приборы отраслевого назначения
image image
image image Метрологическое обеспечение измерений
image image
image image Специальные предложения, распродажи, неликвиды
image image
image
image
image
Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П:
ТЕСТЕР ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами ASTM F1188 и F1391, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, ASTM F95, определяющим метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n n+ или p p+ и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений No18895-99.

Основные контролируемые параметры

  • концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4...2 мм) в пределах: (5*1015...2*1018) ± 5*1015 см³;
  • концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4...2 мм) в пределах: (1016...5*1017) ± 10*16 см³;
  • толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах: (0.5-10) ±0.1 мкм, (10-200) ±1% мкм;
  • концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1...10) ±0.2 вес.%.

Достоинства метода фурье-спектроскопии

Высокая чувствительность.
Рекордное в сравнении с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог обнаружения контролируемых примесей и повысить точность определения концентрации.
Высокая производительность.
Время получения спектра при разрешениях и фотометрической точности, соответствующих требованиям стандартов, не превышает 15...20 с. Это делает возможным сплошной контроль пластин и структур в процессе производства, а также позволяет исследовать неоднородность пластин измеряя распределения контролируемого параметра.
Достоверность анализа.
Анализ и идентификация спектров осуществляются автоматически с использованием библиотек стандартных спектров, включаемых в базу данных спектрометра. Снижается вероятность субъективных ошибок оператора.
Бесконтактность измерений.
В процессе измерений отсутствуют механические воздействия на поверхность пластины.
Автоматизация измерений.
Процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или задается оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.

Спектры ИК поглощения пластин кремния со слоями ФСС и БФСС.
Концентрация фосфора в слое ФСС 9.6%, концентрация бора и фосфора в слое БФСС, соответственно, 4.3% и 3.9%. Толщина слоя около 1 мкм.
Спектральное разрешение 4 см1, время измерения 30 с.

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СПЕКТРОМЕТРА

Спектральный диапазон 400...7800 см1
Спектральное разрешение 1, 2, 4 см1
Диаметр светового пятна на образце 6 мм
Размеры пластин 76, 100, 125, 150, 200 мм
Точность позиционирования стола 0.5 мм
Время стандартного измерения в одной точке 30...60 с
Потребляемая мощность 95 Вт
Размеры спектрометра 67x65x25 см
Вес спектрометра 37 кг

Спектры ИК поглощения пластины кремния, содержащей примеси междуузельного кислорода и углерода замещения.
"Разность" получена вычитанием поглощения "чистого" кремния, имеющего возможно более низкую концентрацию примесей.
Спектральное разрешение 4 см1, время измерения 30 с.

Приставка для измерения пропускания пластин кремния диаметром до 200 мм

Приставка для измерения пропускания пластин кремния диаметром до 200 мм

Приставка зеркального отражения 10 град. для пластин кремния диаметром до 200 мм

Приставка зеркального отражения 10 град. для пластин кремния диаметром до 200 мм

Выполняется разработка методик и программного обеспечения, по техническому заданию Заказчика.

image
image
новинки
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image

image
обновлены
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image

image
image