image о компании | image контакты | image реквизиты | image каталоги | image новинки | image продукция | image металлообработка |
image image
  поиск  
image
image image index page
Производственно-коммерческая группа «Гранат»
представляет Вашему вниманию широкий спектр
контрольно-измерительных приборов,
лабораторного оборудования и сопутствующей продукции
  
image
image
image
image image Контроль условий труда и аттестация рабочих мест
image image
image image Контроль воздуха рабочей зоны
image image
image image Гидрометеорология и экология
image image
image image Газоанализаторы промышленные
image image
image image Лабораторное оборудование и приборы
image image
image image Промышленные измерительные приборы общего назначения
image image
image image Специализированные приборы отраслевого назначения
image image
image image Метрологическое обеспечение измерений
image image
image image Специальные предложения, распродажи, неликвиды
image image
image
image
image
Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:

Времяпролетный масс-спектрометр с газоразрядной ионизацией ЛЮМАС-30

Времяпролетный масс-спектрометр с газоразрядной ионизацией ЛЮМАС-30

Госреестр СИ РФ № 31837-06

Времяпролетная масс-спектрометрия с импульсным разрядом в полом катоде. Путем сочетания газоразрядной системы ионизации и времяпролетного механизма детектирования ионов удалось реализовать высокую эффективность распыления поверхности пробы, высокую скорость регистрации масс-спектров во всем диапазоне регистрируемых масс и высокую чувствительность для большинства элементов.

Принцип действия основан на процессах:

  • высокоэффективной атомизации анализируемых образцов в результате катодного распыления в импульсном тлеющем разряде как проводящих, так и непроводящих электрический ток, твердотельных материалов
  • импульсной ионизации атомов образца в плазме тлеющего разряда как в период свечения, так и в период послесвечения тлеющего разряда, что позволило достичь близких чувствительностей для широкого круга элементов
  • высокоскоростной (до 3000 спектров/с) регистрации времяпролетных спектров.

Достоинства:

  • возможность регистрации большого числа спектров за время распыления одной пробы, что позволяет улучшить отношение сигнал/шум за счет статистического усреднения зарегистрированных спектров
  • прямой анализ твердых проб, включая растворенные в пробах газы с высокоэкономичным расходом рабочего газа и вещества пробы за счет согласования во времени импульсной ионизации с времяпролетной регистрацией масс-спектра, что позволяет существенно снизить пределы обнаружения
  • высокая эффективность распыления и ионизации элементов пробы в импульсном разряде и, как следствие, низкие пределы обнаружения (50...200 ppb)
  • большой динамический диапазон определяемых содержаний элементов (до 7 порядков величины), что на 2...3 порядка лучше пределов обнаружения других методов прямого анализа твердых проб
  • высокоэффективное подавление газовых компонент за счет временной дискриминации и использования водорода, как реакционного газа
  • широкий круг анализируемых объектов, включающий в себя, кроме металлов, диэлектрики и полупроводники. Эта возможность обеспечивается использованием коротких (1...80 мкс) импульсов разрядного тока, позволяющих распылять непроводящие и слабопроводящие электрический ток материалы
  • возможность прямого масс-спектрального анализа послойных неоднородностей самых разнообразных объектов (с послойным разрешением около 3 нм)
  • возможность прямого масс-спектрального анализа многослойных тонкопленочных покрытий
  • отсутствие растворения в процедуре пробоподготовки.

Анализируемые объекты:

  • металлы
  • полупроводниковые материалы
  • диэлектрики
  • объекты со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла)
  • порошковые пробы.

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ

Примеры решаемых задач Области применения
Элементный и изотопный анализ радионуклидов, продуктов распада, отходов переработки ядерного топлива Атомная промышленность
Изотопный анализ при производстве изотопно-чистых материалов Медицина, физика, светотехника, электроника, научные исследования
Анализ сверхмалых содержаний примесей в полупроводниковых материалах (Si, Ge, AsGa…) Микроэлектроника
Элементный анализ содержания примесей при производстве металлов, оптических стекол, оптоволокна, сплавов, напыленных поверхностей Производство особо чистых материалов
Элементный анализ при производстве сплавов цветных металлов и сталей специального назначения с нормируемым содержанием микропримесей (в том числе газообразных) Металлургия, нефтехимия
Химический синтез слоистых структур для производства полупроводниковых, оптоволоконных и каталитических материалов Химия, микроэлектроника, оптика

Основные особенности Люмаса-30:

Импульсный разряд

Импульсный тлеющий разряд формируется последовательностью коротких импульсов напряжения и, как и радиочастотный разряд, может быть применён к прямому анализу как проводящих, так и непроводящих проб. Характерная длительность импульсов такого типа разряда лежит в диапазоне от нескольких микросекунд до нескольких миллисекунд. Тлеющий разряд постоянного тока как правило потребляет мощность порядка 1...4 Вт, радиочастотный разряд - порядка 20...50 Вт, что дает сигнал примерно той же интенсивности по порядку величины, что и разряд постоянного тока при меньшем потреблении энергии. В импульсном же разряде мгновенная мощность может достигать нескольких киловатт, и скорость распыления пробы в течение импульса примерно на два порядка больше, чем в разряде постоянного тока. Такая большая мощность приводит к увеличению сигнала на 1...4 порядка при использовании импульсного тлеющего разряда по сравнению с разрядом постоянного тока.

Полый катод

Существует два основных типа источников с тлеющим разрядом, применяемых для анализа твердотельных образцов: тлеющий разряд с плоским катодом (разряд Гримма) и тлеющий разряд в полом катоде. По сравнению с разрядом Гримма в разряде с полым катодом реализуются более высокая скорость распыления пробы и ионизация распыленных атомов. Как следствие, разряд в полом катоде отличается более низкими пределами обнаружения. Импульсный разряд в полом катоде позволяет еще более увеличить скорости распыления и ионизации и, кроме того, подавить за счет временной дискриминации газовые компоненты, мешающие определению ряда элементов.

Времяпролетный масс-спектрометр

Из масс-спектральных систем наиболее приспособленным для работы с импульсными источниками ионов является времяпролетный масс-спектрометр, поскольку в данном случае реализуется наибольшая эффективность детектирования ионов.

ПРИНЦИП МЕТОДА

Времяпролетная масс-спектрометрия с импульсным разрядом в полом катоде. Путем сочетания газоразрядной системы ионизации и времяпролетного механизма детектирования ионов удалось реализовать высокую эффективность распыления поверхности пробы, высокую скорость регистрации масс-спектров во всем диапазоне регистрируемых масс и высокую чувствительность для большинства элементов.

ПРОЦЕДУРА РАБОТЫ

Включение прибора и выход на рабочий режим осуществляется автоматически. Исследуемый образец может помещаться в прибор двумя способами. В одном варианте образец изготовляется в форме диска диаметром 10 мм и толщиной 3...6 мм. Он может быть сплошным или спрессованным в таблетку порошком. Образец укрепляется в качестве дна полого катода, изготовленного из особо чистого Mo, Nb или другого металла. В другом варианте в случае сплошного материала образец вытачивается в качестве полого катода.

Времяпролетный масс-спектрометр с газоразрядной ионизацией ЛЮМАС-30

Времяпролетный масс-спектрометр с газоразрядной ионизацией ЛЮМАС-30

В разрядную камеру, где укреплен образец, подается балластный газ Ar или смесь Ar, He и Н. За счет разницы давлений в разрядной камере и зоне дифференциальной откачки образующиеся ионы пробы вместе с балластным газом через отверстие в сэмплере попадают в зону дифференциальной откачки, а затем в ортогональную ионному пучку пролетную трубу с выталкивающими сетками. В качестве детектора используются две микроканальные пластины.

Разработанный интерфейс прибора позволяет оперативно производить замену образцов, используя устройство быстросъёмного держателя образца. После установки образца в течение 5 минут происходит откачка шлюза, после чего прибор готов к измерениям. Оператор выбирает время экспозиции в зависимости от требований к точности замера и переходит в режим измерения.

Полученная информация протоколируется и архивируется.

Для смены образца необходимо перекрыть шлюзовую камеру, извлечь держатель и заменить образец.

Для градуировки прибора используются соответствующие Государственные Стандартные Образцы (ГСО). Режим управления прибором и обработка и протоколирование результатов изображаются на дисплее монитора. Изображение приведено ниже.

Времяпролетный масс-спектрометр с газоразрядной ионизацией ЛЮМАС-30

Режим управления и регистрации:

  • автоматическая регистрация и обработка спектров со скоростью до 3000 спектров/с
  • автоматическое индицирование пиков по встроенной базе данных
  • графическое отображение, состояния вакуумных агрегатов
  • автоматическое поддержание заданного давления в ионном источнике
  • мониторинг уровня давления по трем манометрам одновременно
  • графический контроль амплитуды 8 пиков в реальном масштабе времени
  • системная установка номиналов питания и регистрации спектров.

Режим обработки и протоколирования:

  • графический выбор набора контролируемых элементов
  • автоматическая обработка результатов измерения концентраций по известным калибровачным кривым
  • автоматичекое протоколирование и запись результатов эксперимента
  • возможность пополнения базы данных.

Времяпролетный масс-спектрометр с газоразрядной ионизацией ЛЮМАС-30

Технические характеристики

Балластный газ Ar или смесь Ar с He и H
Вакуумная система 2 турбомолекулярных насоса (250 л/мин и 70 л/мин)
Время анализа одной пробы 3...15 мин
Время выхода на рабочий режим 20 мин
Диапазон измеряемых масс 1...400 a.e.m.
Динамический диапазон 7 порядков
Питание 220 В
Погрешность определения 5...10 %
Послойное разрешение 3 нм
Потребляемая мощность 3000 ВА
Предел обнаружения 50...200 ppb
Расход газа 1 балллон (40 л) в год
Производительность 20 проб в час

image
image
новинки
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image

image
обновлены
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image
image

image
image