Элегаз: свойства, применение, обрудование
Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:
Меры шероховатости эталонные ПРО-10
Внесены в государственный реестр средств измерений под № 66933-17
Меры шероховатости эталонные ПРО-10 предназначены для передачи размера единицы длины в области измерений параметров шероховатости Ra, Rz и RSm и проведения поверки (калибровки) приборов, измеряющих параметры шероховатости, а также контурографов и микроскопов.
Описание
Меры шероховатости эталонные ПРО-10 представляют собой кремниевые пластинки, на которых методом масочного травления сформирован периодический трапецеидальный профиль. Для защиты от влияния атмосферы поверхность пластинок закрыта тонкой пленкой нитрида кремния. Для устойчивости в работе пластинки вклеены в основание.
По заказу меры могут поставляться поштучно или наборами с необходимым количеством штук.
Профиль эталонной меры
Мера имеет строго трапецеидальный профиль, имеющий углы у основания захода и спада трапеции ровно 60°. Вершины и впадины трапеции — плоские, с отклонением от плоскостности не более 0.2 нм.
Меры шероховатости эталонные сделаны по кремниевой технологии. Образцы покрыты нитридом титана для обеспечения максимальной износостойкости меры.
Срок работы меры до ухудшения метрологических параметров на 1 %: более 70000 измерений.
Меры поверяются по 1-му и 2-му разряду.
Таблица выпускаемых номиналов
| Наименование | RSm | Глубина впадин | Rz | Ra | Класс шероховатости ГОСТ 2789 |
| Т1-01-11 | 650 | 200 | 200 | 77.0 | 1 (б) |
| Т1-01-11 | 650 | 200 | 200 | 77.0 | 1 (б) |
| Т1-01-09 | 650 | 160 | 161 | 64.7 | 1 (б) |
| Т1-01-08 | 650 | 100 | 100 | 41.0 | 2 (б) |
| Т1-01-05 | 180 | 50 | 50 | 18.8 | 3 (б) |
| Т1-01-04 | 180 | 24.5 | 24.5 | 10.1 | 4 (б) |
| Т1-01-01 | 180 | 12.8 | 12.8 | 5.42 | 5 (б) |
| Т1.01.03 | 100 | 9.1 | 9.7 | 4.19 | 5 (б) |
| Т1.01.02 | 100 | 7.1 | 7.51 | 3.36 | 5 (в) |
| Т1.01.07 | 100 | 4.63 | 4.79 | 2.25 | 6 (б) |
| Т1.01.01 | 100 | 1.99 | 2.31 | 1.09 | 7 (б) |
| Т1.01.06 | 100 | 1.07 | 1.30 | 0.63 (2-й и 3 разряд!) | 8 (б) |
| Т1.02.02 | 100 | 0.54 | 0.61 | 0.30 | 9 (б) |
| Т1.02.C3 | 100 | 0.47 | 0.629 | 0.274 | 9 (б) |
| Т1.02.01 | 100 | 0.27 | 0.358 | 0.169 | 10 (а) |
| Т1.01.07 | 100 | 0.24 | 0.331 | 0.155 | 10 (б) |
| Т2.01.04 | 20 | 0.29 | 0.320 | 0.144 | 10 (б) |
| Т2.01.05 | 20 | 0.15 | 0.164 | 0.070 | 10 (в) |
| Т2.01.07 | 20 | 0.075 | 0.087 | 0.036 | 12 (в) |
| Т2.01.08 | 20 | 0.065 | 0.062 | 0.025 | 13 (б) |
| Т2.02.02 | 20 | 0.033 | 0.043 | 0.016 | 13 (в) |
| Т2.02.C2 | 20 | 0.022 | 0.028 | 0.010 | 14 (в) |
| Т2.02.03 | 20 | 0.017 | 0.022 | 0.0062 | 14 (в) |
Метрологические и технические характеристики
| Диапазон номинальных значений параметра Ra, мкм | 0,001...400 |
| Диапазон номинальных значений параметра Rz, мкм | 0,002...1000 |
| Диапазон номинальных значений параметра RSm, мкм | 1,0...8000 |
| Предел допускаемой относительной погрешности воспроизведения параметра Ra (∆0), % | 12...0,1* |
| Предел допускаемого относительного среднеквадратического отклонения параметра RSm (СКО), % | 5 |
| Габаритные размеры меры, мм, не менее | 10×10×2 |
| Размер рабочей области меры (длина х ширина), мм, не менее | 5×5 |
| Масса меры, г, не более | 120 |
| Нормальная область значений температур, °С | +15...+25 |
| Относительная влажность воздуха, %, не более | 80 |
*Разряд мере присваивается в соответствии с ГОСТ 8.296-2015 при первичной поверке в зависимости от действительного значения погрешности.
На мерах шероховатости эталонных ПРО-10 могут быть определены и другие высотные и шаговые параметры.
Комплектность
- Мера шероховатости эталонная ПРО-10 (по заказу)
- Футляр (на комплект мер)
- Паспорт
- Методика поверки МП 203-9-2016
Поверка
Осуществляется по документу МП 203-9-2016 «Меры шероховатости эталонные ПРО-10. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 15 сентября 2016 года.