Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1М (микропрофилометр)

Внесен в Государственный реестр средств измерений РФ под № 48171-11

МИА-1М предназначен для измерения профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне, а также распределения показателя преломления прозрачных объектов (при использовании специальной кюветы).

Микропрофилометр МИА-1М позволяет исследовать отражающие объекты, состоящие из различных по своим электрическим свойствам материалов (диэлектрик, проводник и пр.) и рассчитывать параметры шероховатости (Ra, Rz, Rmax и пр.).

МИА-1М может использоваться в биологии для исследования микробиологических объектов без окрашивания.

В составе МИА-1М имеются две видеокамеры для двух различных полей зрения. Для расширения диапазона измерения высот профиля поверхности используется метод регистрации на нескольких длинах волн.

Области применения

в промышленности:

бесконтактное измерение микропрофиля отражающих поверхностей
измерение высотных и шаговых параметров шероховатости
измерение толщины тонких пленок
динамические измерения

в биологии и медицине:

возможность исследования живых неокрашенных клеток
морфометрия клеток
измерение сухого веса клеток с точностью 0,00001 мкг
измерение показателя двулучепреломления оценка состояния популяции клеток
динамическая фазовая микроскопия

Принцип действия МИА-1М основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС камеры и передаются в персональный компьютер, где производится их обработка в автоматическом режиме. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.

Пример работы микропрофилометра:

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1М (микропрофилометр)

Участок поверхности компакт-диска

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1М (микропрофилометр)

Прямоугольная решетка TGZ3 фирмы NT-MDT (высота профиля – 80 нм, период – 3 мкм)

Технические характеристики

Поле зрения	канал 1, мкм	130×175
	канал 2, мкм	32×44
Диапазон измерения высот, мкм		0,001...3 (15*)
Разрешающая способность	в плоскости XY, мкм	0,3
	по оси Z, Å	0,8
Диапазон измерения показателя преломления		1...2
Абсолютная погрешность измерения показателя преломления		0,001
Числовая апертура микрообъектива		0,65
Пределы перемещения для фокусировки, мм		3
Увеличение, крат		33,4
Пределы перемещения интерференционной головки по вертикали, мм		±1,5
Цена деления шкалы барабана микрометрического винта интерференционной головки, мм		0,003
Источники излучения		лазеры
Длина волны, мкм		0,473; 0,532; 0,635; 0,650
Алгоритм реконструкции		метод фазовых шагов
Размерность изображения, пиксель		1392×1040
Время измерения и обработки, сек		30
Число обрабатываемых интерференционных картин		9
Электропитание от сети переменного тока (напряжение питания, частота)		220 ±22 В 50 ±1 Гц
Потребляемая мощность, не более Вт		250
Габаритные размеры, мм		340×370×380
Масса, кг		30

* – при использовании осветительного блока с несколькими длинами волн

Комплект поставки:

Микроскоп МИИ-4М (ЛОМО) — 1 шт.
Цифровая ПЗС-камера Видеоскан-205-USB — 1 шт.
Осветительный лазерный блок — 1 шт.
Волоконно-оптический жгут — 1 шт.
Плата управления пьезоприводом — 1 шт.
Плата контроллера PCI I/O — 1 шт.
Компьютер — 1 шт.
Монитор — 1 шт.
Соединительные кабели — 2 шт.
Руководство по эксплуатации, включая методику поверки — 1 шт.