Натекатель пьезокерамический  

Пьезокерамический натекатель является элементом вакуумной техники, и предназначен для плавного регулирования давления рабочего газа. Он позволяет производить управляемый напуск газа практически с любого входного давления, осуществлять аварийное прекращение напуска газа при превышении предельно допустимого давления, производить прекращение подачи газа при пропадании питающего напряжения.

Принцип действия:

Под действием подаваемого на пьезоэлемент напряжения происходит линейное сокращение его размера; сокращаясь, пьезоэлемент перемещает запирающий элемент и тем самым открывает доступ потоку газа. Изменяя величину напряжения, подаваемого на пьезоэлемент, можно регулировать величину зазора и тем самым величину напуска газа.