Рентгеновский аналитический микрозонд-микроскоп РАМ 30-μ  

Микрозонд-микроскоп РАМ 30-μ предназначен для исследования объектов методами оптической микроскопии, рентгенографии и локального ренгенофлуоресцентного элементного микроанализа с возможностью элементного картирования.

Области применения

• Рентгенофлуоресцентный микроанализ с элементным картированием идентификационной карты
• Рентгенофлуоресцентный микроанализ с элементным картированием печатной платы
• Рентгенофлуоресцентный микроанализ скрытых объектов
• Рентгенофлуоресцентный микроанализ скрытых текстов
• Рентгенографические исследования:
  
  • цифровое регулирование яркости и контрастности
  • изменение масштабов изображения
  • измерение расстояний между точками изображения
  • нанесение меток и текста на изображение
  • хранение изображений в базе данных
  • запись оцифрованных изображений на внешние носители
  • печать изображений и протоколов

Особенности

• Микрофокусная рентгеновская трубка
• Поликапиллярная линза для формирования рентгеновского зонда с изменяемым размером
• Набор фильтров первичного излучения
• Обзорная видеокамера для выбора области анализа
• Оптический цифровой микроскоп для исследования области анализа
• Оптический микроскоп, совмещенный с осью рентгеновского зонда
• Автоматизированная система выбора рабочего расстояния
• Автоматизированный двухкоординатный предметный стол для позиционирования объекта и сканирования по заданной области образца (x, y)
• Перемещение аналитического узла по z – координате
• Детектор прошедшего через образец излучения для рентгенографических исследований
• Энергодисперсионный полупроводниковый детектор для локального элементного анализа
• Вакуумируемая измерительная камера для анализа легких элементов
• Встроенная автономная система водяного охлаждения рентгеновской трубки
• Специализированное программное обеспечение для рентгенографических исследований, локального элементного анализа и элементного картирования

Описание

Источником первичного рентгеновского излучения является микрофокусная рентгеновская трубка. На выходном окне трубки смонтирован коллиматор, ограничивающий телесный угол расхождения рентгеновского излучения и затвор с электрическим управлением, позволяющий перекрыть рентгеновский поток. Ниже располагаются диски с установленными сменными коллиматорами и фильтрами. Фильтры и коллиматоры устанавливаются вручную.

Поток рентгеновского излучения формируется поликапиллярной линзой. В зависимости от требуемой локальности анализа и размера исследуемого объекта исследуемый образец устанавливается на предметном столе либо в фокусе поликапиллярной линзы (максимальное пространственное разрешение), либо за фокусом линзы в расходящейся части потока рентгеновского излучения.

Установка образца и предварительный выбор области анализа осуществляются с помощью встроенных осветителя и цифрового микроскопа. Область анализа выбирается визуально с помощью рамки на экране монитора. После предварительного исследования образец автоматически перемещается в зону анализа, где область исследования контролируется цифровым микроскопом, оптическая ось которого совмещена с осью рентгеновского зонда.

Регистрация спектров рентгеновской флуоресценции осуществляется полупроводниковым дрейфовым энергодисперсионным детектором.

Регистрация изображения «на просвет» осуществляется блоком регистрации, содержащим матричный полупроводниковый детектор и фотодиодный регистратор рентгеновского потока.

Рентгенографические исследования могут осуществляться в двух режимах:

• Без увеличения – регистратор рентгеновского потока измеряет интенсивность излучения прошедшего через точку зондирования исследуемого объекта. Таким способом измеряется плотность объекта в анализируемой точке. Зондирующее излучение формируется с помощью коллимации входного окна поликапиллярной линзы.
• С увеличением – в область пучка, расходящегося за фокусом рентгеновской линзы, помещается рентгеночувствительная ПЗС-матрица.

Объектив цифрового микроскопа, поликапиллярная линза и палец дрейфового детектора введены в камеру из которой откачивается воздух, что позволяет минимизировать потери флуоресценции при анализе образцов, содержащих легкие элементы.

Окно вакуумной камеры, через которое проходит исследование флюоресценции образца, закрыто лавсановой пленкой. Исследуемая область образца размещается на минимальном расстоянии от лавсанового окна камеры, чтобы минимизировать потери низкоэнергетичной части спектра рентгенофлюоресценции. Откачка воздуха из камеры производится компактным форвакуумным насосом.

Блок возбуждения флуоресценции включает

• блок трубки,
• высоковольтный преобразователь (ВИП)
• и блок электроники.

Блок детектирования рентгенофлюоресцентного спектра включает

• полупроводниковый дрейфовый детектор (SDD),
• аналоговый процессор
• и многоканальный анализатор.

Камера видеонаблюдения с объективом, обеспечивающим увеличение изображения до 100х (цифровой микроскоп) позволяет вывести на монитор компьютера изображение исследуемого участка объекта исследования. Установленное в камере зеркало совмещает оптическую ось цифрового микроскопа с осью рентгеновского зонда.

Технические характеристики