Элегаз: свойства, применение, обрудование
Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:
Баллоны и баблеры из нержавеющей стали для прекурсоров CVD и ALD ECML-RC-050, 075, 100, 180, 450 и 1000 мл.
Баллоны из нержавеющей стали для прекурсоров CVD и ALD сопровождаются индивидуальными паспортами завода изготовителя.
Баллоны и баблеры из нержавеющей стали предназначены для реагентов и прекурсоров CVD и ALD. Баллоны изготавливаются из электрохимполированной нержавеющей стали с шероховатостью менее 1 Ra.
Внутренние поверхности и сварные швы проходят специальную подготовку для агрессивных прекурсоров. Герметичность контролируется гелиевым течеискателем.
Комплектация барботёров определяется по ТЗ заказчика, включая адаптеры и мембранные вентили.
Технические характеристики баллонов ECML-RC
| ECML-RC-050 | ECML-RC-075 | ECML-RC-100 | ECML-RC-180 | ECML-RC-450 | ECML-RC-1000 | |
| Рабочий объём, мл | 50 | 75 | 100 | 180 | 450 | 1000 |
| Масса, кг | 0,8 | 1 | 1,4 | 1,8 | 2,6 | |
| Максимальное рабочее давление, МПа | 6,8 | 1,6 | ||||
| Пропускная способность крана м³/ч (Kv) | 0,28 | 0,22 | ||||
| Рабочий диапазон температур, °С | -62...315 | 10...120 | ||||
| Высота в зависимости от комплектации, мм | 230 | 232 | 242 | 232 | 241,7 | 267 |
| Ширина баллона/ширина с учетом вентиля, мм | 38/69 | 38/80 | 38/110 | 57/108 | 76/- | 104/127 |
Комплектация баллонов ECML-RC
- Баллон ECML: Баллон из электрохимполированной нержавеющей стали
- Адаптеры: Баллон из углеродистой стали 5-150У ( 5 дм³, 15 Мпа) 2 шт
- Манометр (опция)
- Ударопрочный кейс: Индивидуальный защитный кейс из алюкбонда с ложементом из PE
- Документация: Технический паспорт
- Упаковка: Пленка, картон
Габаритные чертежи баллонов для реагентов
Баллон для реагентов 50 мл
Баллон для реагентов75 мл
Баллон для реагентов 100 мл
Баллона для реагентов 180 мл