Применяются при сличениях эталонов, для градуировки и поверки высокоточных газоанализаторов, а также в качестве исходных компонентов при приготовлении газовых смесей гравиметрическим методом.

Эталоны представляют собой образцы выпускаемых промышленностью газов высокой чистоты, аттестованные по содержанию основного компонента и примесей (He, Ne, H2, Ar, O2, N2, Kr, CO, CO2, Xe, NOx, углеводородов С1-С4, паров воды) на комплексе аналитической аппаратуры Государственного первичного эталона единицы молярной доли компонентов в газовых средах (ГЭТ 154-01).