Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:

Анализатор профиля поверхности SPA 25

Измерительная система для анализа поверхностной топографии и определения параметров шероховатости

Отличительными характеристиками анализатора профиля поверхности SPA 25 является измерение поверхностной топографии и параметров шероховатости с исключительной быстротой и точностью.

Стандарты

ISO 13565
ISO 16610
ISO 25178
ISO 4287

Высокая разрешающая способность измерения

SPA 25 использует метод интерферометрии белого света, который отличается высоким разрешением до 0.1 нм даже при использовании небольшого увеличения. Это даёт SPA 25 существенное преимущество перед приборами, работающими по принципу переменного фокусного расстояния или конфокальной микроскопии.

Анализатор профиля поверхности SPA 25

Автоматический предметный столик

Столик с электроприводом перемещает образец под измерительной головкой, и после каждого измерения все изображения состыковываются вместе для последующего анализа поверхности площадью до 300x300 мм.

Передовое программное обеспечение

Для анализа профиля поверхности SPA 25 использует программное обеспечение MountainsMap® Imaging Topography.

MountainsMap® может рассчитать параметры шероховатости в соответствии с международными стандартами ISO 25178, ISO 4287, ISO 13565, ISO 16610 и другие.

Широкая область применения

Благодаря, исключительно высокому разрешению, быстроте анализа и программному обеспечению с интуитивным интерфейсом, SPA 25 может быть использован для решения широкого спектра задач. SPA 25 используется для создания 3D-карты поверхностей и выявления дефектов, вызванных обработкой материала.

Анализатор профиля поверхности SPA 25

Совместное использование SPA 25 и оптического анализатора серии OCA позволяет определить значение краевого угла с поправкой на шероховатость поверхности по теории Венцеля.

Высокое разрешение метода позволяет изучать структуру из микрочастиц, которые образовались в результате нанесения на субстрат пиколитровых капель чернил.

Анализатор профиля поверхности SPA 25

Технические характеристики

Метод измерения	интерферометрия белого света
сканер	пьезоэлектрический привод с регулированием высоты перемещения
глубина сканирования (ось Z)	до 400 мкм
скорость сканирования при полном разрешении	11.3 мкм/сек
Тип сканирования	вертикальная сканирующая интерферометрия			расширенная фазовая интерферометрия
разрешение по высоте (ось Z)	1 нм			0.1 нм
Камера	высокоскоростная камера USB 3
макс. разрешение	1920×1200 пикселей при 170 кадров/сек
макс. скорость записи	до 3000 кадров/сек при ограниченном ROI
Объективы	объективы Миро для интерферометров
увеличение	2.5х	5х	10х	20х	50х	100х
область измерения (X×Y), мм	7.3×4.6	3.7×2.3	1.8×1.2	0.91×0.58	0.37×0.23	0.18×0.12
рабочее расстояние, мм	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2
расположение точек, мкм	3.8	1.9	0.96	0.48	0.19	0.1
Предметный столик	ручной	авто
площадь перемещения (X×Y), мм	73×55	75×50	100×100	150×150	200×200	300×300
разрешение перемещения		10 нм	10 нм	10нм	10 нм	10 нм
допускаемая нагрузка	1 кг	1 кг	2 кг	3 кг	3 кг	5 кг
Штатив измерительной головки	ручное юстирование по оси Z
быстрое регулирование по оси Z	70мм
тонкое регулирование по оси Z	1.9мм
регулирование наклона	±3°
Контроллер	стандартная рама на 19”; 3 единицы высоты
рекомендуемые требования ПК	Intel® Core™ I5, 16 GB RAM, 500 GB SSD, графическая карта NVIDIA®, Microsoft® Windows™ 10 Pro
контроллеры аппаратного обеспечения	пьезоконтроллер, контроллер света LED, контроллер осей X и Y
Программное обеспечение	сканирующее программное обеспечение SPS 25 & программное обеспечение для расчётов MountainsMap® Imaging Topography
Стандартные методики и параметры	в соответствии с ISO 25178, ISO 4287, ISO 13565, ISO 16610, etc.
параметры шероховатости, отнесённые к площади (ISO 25178)	Sq, Sp, Sv, Sz, Sa, S10z
параметры шероховатости по профилю (ISO 4287)	Rq, Rp, Rv, Rz, Ra
Источник питания	230 VAC; 50 Hz; 150 W
Габариты, мм	измерительная головка и автоматический столик (75×50) 360×260×450			контроллер 500×515×210
Вес, кг	15.5			20