Устройства очистки аргона и других технологических газов Эпишур-А СЛ

Эпишур-А 22 СЛ

Эпишур-А 12 СЛ

Эпишур-А 04 СЛ

Эпишур-А 33 СЛ

Эпишур-А СЛ — серия автономных установок, предназначенных для тонкой очистки и осушки таких технологических газов как аргон, гелий, азот и водород.

Применяется в работе с абсорбционными, оптическими эмиссионными спектрометрами и другими приборами, использующими инертный газ в качестве:

• плазмообразующего газа в спектрометрах с RLC, ИСП и микроволновым разрядом
• газа-носителя в хроматографии

а также в качестве защитной среды:

• при дуговой, плазменной или лазерной сварке
• при выращивании кристаллов германия и кремния
• в производстве полупроводников.

Устройства могут быть использованы в системах циркуляции газа для решения широкого спектра исследовательских и производственных задач, требующих чистой инертной среды или заданного газового состава в герметичных камерах (боксах), технологических установках и помещениях.

Технические особенности устройства Эпишур-А СЛ

• Высокая сорбционная ёмкость фильтров, рассчитанная на реальное качество используемого газа, получаемое при загрязнении газовых баллонов у пользователей а также в результате рабочих процессов в боксах
• Независимый нагрев фильтров, позволяющий использовать различную конфигурацию видов сорбентов и катализаторов в зависимости от типа очищаемого газа
• Автоматическая система контроля заданных параметров режимов работы устройства
• Широкий диапазон допустимого давления в газораспределительной системе устройства — от вакуума до 5 МПа
• Регенерация фильтров без отключения устройства от газовых магистралей через дополнительные клапан и отвод
• Эффективная фильтрация выходящего газа от пыли и других мелких частиц размером до 1 мкм
• Большой выбор соединительной арматуры, обеспечивающей высокую герметичность во всех технологических процессах
• Возможность интеграции в устройство электронных датчиков и сенсоров для контроля степени очистки газа по основным примесям загрязнения

Панель управления Эпишур-А СЛ (модификации с интегрированными датчиками кислорода и влаги)

Система отбора проб и контроля содержания кислорода и влаги «Тайган СЛ»

Принцип действия

Используемая в Эпишур-А СЛ четырёхступенчатая система газоочистки позволяет обеспечить надёжную подачу газа требуемых параметров и в необходимом объёме к потребителю, поддерживает высокий уровень чистоты по примесям — менее 1 ppm общего загрязнения. Выбор применяемых для этого фильтров определяется техническими условиями работы устройства и типом очищаемого газа:

• Очистка водорода от кислорода осуществляется путём его каталитического гидрирования
• Для удаления из аргона и других инертных газов примесей кислорода, азота, водорода используется метод их хемосорбционного взаимодействия с твёрдыми поглотителями
• Процесс осушки газов от исходно присутствующей и реакционной влаги реализуется посредством её адсорбции на молекулярных ситах.

Регенерация фильтров производится термическим способом с автоматическим регулированием температурных режимов.

Для работы в системах циркуляции газов Эпишур-А СЛ оснащаются мембранными насосами-компрессорами. При этом обеспечивается непрерывное нагнетание потоков газов и их смесей в технологиях с применением как избыточных давлений, так и вакуума.

Основные технические характеристики модификаций Эпишур-А СЛ

Выпускавшаяся ранее модификация Эпишур-А 32 СЛ заменена на Эпишур-А 33 СЛ.

Отличия 33-й модели:

• в новом корпусе
• во второй фильтр добавлен металлический кальций, в связи с чем получилась практически 100 % очистка от азота и кислорода
• в молекулярном фильтре NaX заменён на NaX-K для более глубокой очистки от СО2.