Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:
Программно-аппаратный комплекс для автоматизации измерений на интерферометрах Физо
Предназначен для реализации метода фазовых шагов на интерферометре типа Физо и др., где трудно обеспечить фазовый сдвиг.
Фазовый сдвиг обеспечивается за счет малого изменения частоты источника излучения, за счет изменения тока накачки лазера. Необходимым условием работы этой системы является разность хода между предметным и опорным каналами интерферометра не менее 5 мм.
В комплексе реализован метод фазовых шагов для автоматической расшифровки интерферограмм. Сдвиг полос осуществляется за счет изменения тока накачки полупроводникового инжекционного лазера с соответствующим изменением длины волны его излучения.
Для уменьшения времени регистрации экспериментальных данных может использоваться высокоскоростная CMOS камера, что позволит эксплуатировать ИФА-300 в обычных условиях без особых требований к виброзащите.
Измерения образцового плоского зеркала, входящего в состав Государственного первичного эталона единицы длины в области интерференционных измерений геометрических параметров отклонений от плоскостности (ГЭТ 183-2010)
Технические характеристики
Поле зрения, мм | Ø300 |
Диапазон измерения высот профиля поверхности оптических деталей, мкм | 0,002...2 |
Абсолютная погрешность измерения высот профиля поверхности оптических деталей, мкм | 0,0005 |
Абсолютная погрешность измерения оптической разности хода, мкм | λ/100 |
Источник излучения | полупроводниковый инжекционный лазеры |
Длина волны излучения, мкм | 0,658 |
Алгоритм реконструкции | метод фазовых шагов |