Интерферометр световолоконный автоматизированный ИСА-1

Внесен в Государственный реестр средств измерений РФ под № 48170-11

Интерферометр световолоконный автоматизированный ИСА-1 предназначен для измерения распределения показателя преломления объектов в микро- и нанодиапазоне на основе анализа двумерного распределения оптической разности хода (ОРХ) между прошедшим через исследуемый объект излучением и опорным излучением.

ИСА-1 может быть интегрирован в оптический канал обычного светового микроскопа.

Принцип действия прибора основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, прошедшего через опорный канал и через предметный канал. В основе прибора лежит оптическая схема интерферометра Маха-Цендера. Для расшифровки интерферограмм в микроскопе реализован метод дискретного фазового сдвига (метод фазовых шагов). Фазовый сдвиг вносится при помощи управляемого от компьютера пьезоактюатора, на котором установлено зеркало опорного канала (пьезозеркало). Интерферограммы при различных положениях опорного зеркала с помощью ПЗС камеры ввода поступают в персональный компьютер, где производится их автоматическая обработка. В результате работы алгоритма реконструкции восстанавливается двумерное распределение ОРХ, на основе которого получаются данные о высоте профиля поверхности.

Результаты измерений в виде двумерных и трехмерных профилей, графиков сечений отображаются на экране монитора. Для управления вводом изображений и сдвигом пьезоактюатора и расшифровки интерферограмм используется программное обеспечение «WinPhast».

Технические характеристики

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм	50×50
Абсолютная погрешность измерения линейных размеров в плоскости XY, мкм	0,5
Абсолютная погрешность измерения оптической разности хода, мкм, в долях длины волны λ	λ/500
Диапазон измерений показателя преломления	1,39...1,65
Абсолютная погрешность измерения показателя преломления	0,001
Длина волны излучения, мкм	0,650
Алгоритм реконструкции	метод фазовых шагов
Размерность изображения, пиксель	1392×1040
Число вводимых градаций яркости, бит	8
Время измерения и обработки, сек	30
Число точек для реконструкции интерферограмм	9
Электропитание от сети переменного тока	220 ±22 В, 50 ±1 Гц
Потребляемая мощность, Вт, не более	250
Габаритные размеры, мм	180×360×370
Масса, кг	15

Комплект поставки:

Интерференционный блок — 1 шт.
Цифровая ПЗС-камера — 1 шт.
Плата управления пьезоактюатором — 1 шт.
Выносная оптическая головка — 1 шт.
Диск с программным обеспечением — 1 шт.
Кабели — 3 шт.
Руководство по эксплуатации — 1 шт.