Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:
Интерферометр РИФ
Интерферометр РИФ (Интерферометр Физо конструкции Романова) выполнен по схеме интерферометра Физо и предназначен для бесконтактного измерения формы плоских полированных поверхностей и зеркал. Программное обеспечение предназначено для обработки интерференционных картин с дополнительно введёнными наклонами.
Спецификация:
Диаметр тестируемой поверхности | 10...120 мм (по требованию - до 300 мм) |
Частота измерений | до 25 Гц |
Точность оценки плоскостности | 0.06 мкм (P-V) |
0.01 мкм (RMS) | |
Максимальная амплитуда диагностируемых аберраций (P-V) | порядка 4 мкм |
Точность | 0.032 мкм (P-V) |
Амплитуда измеряемых аберраций (P-V) | до 5 мкм |
Источний излучения | диодный лазер |
Длина волны источника излучения | 0.65 мкм |
Ввод изображения в компьютер | ПЗС камера |
Габариты | 800×540×190 мм |
Вес | 28...30 кг |
Программное обеспечение
- Позволяет обрабатывать интерференционные картины как в реальном времени, так и сохранённые .bmp файлы
- Точность метода обработки интерферограмм составляет λ/400
- Результаты обработки представлены в виде коэффициентов при полиномах Цернике, P-V и RMS, 2D и 3D распределение фазы
Программа позволяет обрабатывать интерферограммы с дополнительно введённым наклоном в горизонтальном направлении (x), который должен составлять от 8 до 60 интерференционных полос. Процесс обработки включает:
- Регистрацию интерференционной картины (или загрузку из .bmp файла)
- Определение размеров исследуемой области
- Фильтрацию, позволяющую исключить ложные экстремумы, а так же отсеять шумы
- Определение экстремумов
- Восстановление фазы согласно координатам экстремумов, разложение по полиномам Цернике, вычисление P-V, RMS