Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:
Профилометр интерференционный компьютерный ПИК-30М
Внесён в Государственный реестр средств измерений РФ под № 48169-11
ПИК-30М предназначен для измерения относительных высот профиля поверхности (топограмм) полированных изделий, в том числе подложек сферических зеркал, диаметр которых не превышает 30 мм, высота не превышает 10 мм, а радиус кривизны лежит в диапазоне 2...7 м.
ПИК-30М позволяет работать с полированными изделиями без зеркального покрытия, коэффициент отражения которых не менее 4%.
ПИК-30М позволяет измерять участки крупногабаритных деталей до 150 мм.
Принцип действия прибора основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от плоского зеркала и поверхности измеряемого изделия. В основе прибора лежит оптическая схема интерферометра Тваймана-Грина.
Прибор состоит из двух частей:
- интерферометра
- блока управления и обработки информации.
В интерферометре световой поток от He-Ne лазера, пройдя через коллимирующее устройство, попадает на светоделительную призму, после которой направляется в предметное и опорное плечи интерферометра. В предметном плече располагается исследуемое изделие, закрепленное в специальной оправке, в опорном – плоское зеркало. Отразившись от предмета и плоского зеркала световые пучки сходятся на светоделительной призме. Интерференционное изображение строится объективом в плоскости регистратора – ПЗС камеры.
Компьютерная расшифровка интерферограмм производится по методу дискретного фазового сдвига, вносимого плоским зеркалом, сдвигаемым пьезоэлементом. В результате обработки интерферограмм восстанавливается двумерная карта высот профиля поверхности объекта (топограммы) относительно начальной точки, выбираемой оператором.
Программное обеспечение для обработки полученных топограмм позволяет вычислять:
- Радиус кривизны сферических поверхностей
- Среднее квадратическое отклонение и предельное отклонение измеренной топограммы от плоской и сферической поверхности
- «Децентровку» сферической поверхности относительно геометрического центра подложки сферического зеркала в диапазоне 0,1...5,0 мм.
Технические характеристики
Поле зрения | 30×40 мм | |
Диапазон измерений высоты профиля поверхности | 0,005...30 мкм | |
Диапазон измерения радиуса кривизны | 2000...7000 мм | |
Разрешающая способность | в плоскости XY | 0,1 мм |
по оси Z | 0,006 мкм | |
Источник излучения | лазер | |
Длина волны излучения | 0,632 мкм | |
Алгоритм реконструкции | метод фазовых шагов | |
Размерность изображения | 1392×1040 пикселей | |
Время измерения высоты профиля поверхности, не более | 30 сек | |
Электропитание от сети переменного тока | 220 ±22 В, 50 ±1 Гц | |
Потребляемая мощность, не более | 350 Вт | |
Габаритные размеры | 220×400×480 мм | |
Масса | 40 кг |
Комплект поставки:
- Профилометр интерференционный компьютерный ПИК-30М — 1 шт
- ПЭВМ — 1 шт
- Ложемент — 2 шт
- Диск с программным обеспечением — 1 шт
- Соединительные кабели — 3 шт
- Руководство по эксплуатации, включающее методику поверки — 1 шт