Данное оборудование указано в следующих разделах каталога:
Анализатор влажности чистых газов Pura
Внесён в Государственный реестр средств измерений РФ под № 70078-17
Анализатор «Пура» используется для измерения температуры точки росы чистых газов в полупроводниковой промышленности.
Прибор основан на импедансной технологии.
Прибор выпускается в двух модификациях: обычная и Pura Plus для чистых комнат (поставляется в специальной упаковке).
Обе модификации имеют искробезопасное исполнение.
При необходимости локального отображения влажности прибор может быть укомплектован блоками электроники с дисплеями.
Монтажная длина приборов составляет 120 мм и соответствует принятым в отрасли стандартам.
Для установки приборов используются фитинги VCR.
Метрологические характеристики
Диапазон измерения ТТР | −120...-40 °С | |
Погрешность измерения | -120...-100 °C ТТР | ±4 °C ТТР |
-100...-60 °C ТТР | ±2 °C ТТР | |
-60...-40 °C ТТР | ±1 °C ТТР |
Анализируемый газ в сочетании с водяными парами не должен вызывать коррозию чувствительного элемента
Требования к пробе
Давление | 0...240 бар |
Температура | −60...+40 °C |
Расход | 1...5 л/мин. |
Интеграция с системой управления
Аналоговый выход | 4...20 мА |
Корпус и питание
Класс защиты корпуса | зависит от модификации и исполнения |
Питание | 12...28 В |
Вес | 0,4 кг |
Габаритные размеры